高高屏區域教學資源中心(中山大學)舉辦 100年高屏地區奈米核心設施儀器使用說明會(9/6)
中山大學 100年高屏地區奈米核心設施儀器使用說明會
會議日期：100年9月6日(二)
會議地點：國立中山大學理學院國際會議廳
主辦單位：國立中山大學-國科會高屏地區奈米核心設施共同實驗室、高高屏區域教學資源中心
協辦單位：國立中山大學 研究發展處
報名網站：http://140.117.32.239/ncfseminar/
聯絡人：奈米核心設施 陳惠華 分機：3703
報名截止日：100年8月26日
| 時間 | 課程 | 講座 |
| 08:40~09:00 | 報到 | 羅奕凱召集人 |
| 09:00~09:10 | 奈米核心設施簡介 | 張鼎張教授 |
| 09:10~10:10 | 雙束型聚焦離子束(Focused Ion Beam ) 感應耦合式電漿蝕刻系統( ICP-Etcher) 高密度電漿化學氣相沉積系統 (HDP-CVD) 多靶磁控濺鍍系統(Sputter) |
|
| 10:10~10:30 | 中場休息 | |
| 10:30~11:30 | 雙電子束蒸鍍系統(E-beam) 快速退火系統 (RTA) 薄膜特性分析儀N & K analyzer 三維輪廓儀3D Alpha-Step Profilometer 四點探針4 Point Probe |
張鼎張教授 |
| 11:30~12:00 | 黃光蝕刻系統(Photo-Lithography system) | 林政邦博士生 |
| 12:00~13:30 | 午餐/參觀實驗室及儀器示範 | 各實驗室 |
說明會DM-C.jpg
儀器使用說明會海報
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